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クリーンルーム

お問い合せ

工業および半導体用クリーンルームでは、滅菌作業および生産スペースを作り出すために革新的なフィルタ技術が利用されています。H&Vは、混入不純物を制御し、エネルギー消費量とライフ サイクル コストを削減する、高度なエンジニアリングHEPAフィルターおよびULPAフィルター用ろ材を幅広く提供しています。

  • 当社のPerForm®ガラスフィルタろ材は、高速ロータリープリーツ加工機に合わせて調整されおり、同程度の効率を提供する競合他社のフィルタろ材に比べて圧力損失を10~16%抑えることができます。
  • H&Vの高効率のクリーンルーム用フィルタろ材は、最も厳しい国際規格要件のすべてに準拠しています。

クリーンルーム用フィルタは、工業、半導体、原子力、製薬、生物などの幅広い用途で需要があります。幅広い製品構成をもち、パネル、コンパクトフィルタ、ディーププリーツなどの用途に使用されています。これらの製品は、アルミニウム製セパレータ付きの回転式ミニプリーツ、ナイフプリーツ、ディーププリーツなど、さまざまな技術を使用して加工されます。 

H&Vの高効率クリーンルーム用フィルタろ材は、高性能、低圧力損失、高強度、低ホウ素含有などの優れた特性を備えています。

  • ミニプリーツ加工、ディーププリーツ加工、コンパクトフィルター加工向けの標準ガラスフィルタろ材
  • Performガラスフィルタろ材は、優れた加工特性を持ち、同程度の効率を備えた競合他社のろ材に比べて圧力損失を10~16%抑えることができます。
  • ミニプリーツ加工用途に適した分子フィルタろ材(MFM)は、混入不純物をPPM、PPB、PPTレベルで低減します。HEPAフィルタろ材またはULPAフィルタろ材と組み合わせると、圧力損失を抑え、高い効率が得られます。
  • Formitフィルタろ材は、高い強度と耐水性を兼ね備えています。半導体産業向けに特別に開発された低ボロングレードは、酸化ホウ素の含有量が微量に抑えられています。

また、H&Vはさまざまな技術を組み合わせて特定の性能特性を向上させる、ラミネート技術を有しています。

詳細については以下のパンフレット、ホワイトペーパー、ケーススタディ、よくあるご質問のリンクをクリックしてください。

HEPA/ULPAフィルタろ材

ガス・分子フィルタ

ガスフィルタろ材ビデオ

よくあるご質問

ミニプリーツ
パネル
ミニプリーツ
コンパクト
ディーププリーツ
アルミセパレータ
標準ガラスフィルタろ材 米国
標準ガラスフィルター濾材APAC
標準ガラスフィルタろ材 欧州中東
PerFormフィルター濾材APAC
PerFormフィルタろ材 欧州中東
高強度ガラスフィルタろ材 欧州中東

標準ガラスグレード 米国

グレード
用 途
標準的なフィルタクラス
坪量
(g/m2
空気抵抗@5.33cm/s
(Pa)
透過率0.3µ@5.33cm/s
(%)
HA9653 ULPA 7 9s ULPA 78 677 0.000004*
HA9643 ULPA 6 9s 5 ULPA 78 550 0.00002*
HA9633 ULPA 6 9s ULPA 78 519 0.00004*
HA9623 ULPA 5 9s 5 ULPA 78 451 0.0002*
HA9613 ULPA 5 9s ULPA 78 412 0.0004*
HB7613 HEPA 99.99% HEPA 78 343 0.004
HB7623 HEPA 99.98% HEPA 78 314 0.010
HB7633 HEPA 99.97% HEPA 78 289 0.015
HC4683 準HEPA 準HEPA 78 260 0.045
HD 2583 95% DOP 95% DOP 78 113 5.5
HYB5619 HEPA 99.99% HEPA 68 353 0.006*
HYB5629 HEPA 99.98% HEPA 68 314 0.010
HYB5639 HEPA 99.97% HEPA 68 294 0.015

標準ガラスフィルター濾材APAC

グレード
用 途
標準的なフィルタクラス
坪量
(g/m2
空気抵抗@5.33cm/s
(Pa)
透過率0.3µ@5.33cm/s
(%)
HA9653 ULPA 7 9s ULPA 78 677 0.000004*
HA9633 ULPA 6 9s ULPA 78 519 0.00004*
HA9623 ULPA 5 9s 5 ULPA 78 451 0.0002*
HA9613 ULPA 5 9s ULPA 78 412 0.0004*
HA8603 ULPA 5 9s ULPA 78 373 0.0020
HB7613 HEPA 99.99% HEPA 78 343 0.004
HB7623 HEPA 99.98% HEPA 78 314 0.010
HB7633 HEPA 99.97% HEPA 78 289 0.015
HC4683 準HEPA 準HEPA 78 260 0.045
HD2583 準Hepa ガラス 78 113 5.5
HD2063 HEPA 99.99% HEPA 78 157 3.0

標準ガラスフィルタろ材 欧州中東

グレード
標準的なフィルタ クラス EN1822
フィルタクラス@面速度
坪量
(g/m2
面速度
(cm/s)
空気抵抗@5.33cm/s
(Pa)
MPPS透過率@Media Velocity
(%)
HA8303 U16 H14 78 2.50 495 0.00015
HA8323 U15 H14 78 2.50 435 0.00045
HB5773 H14 H14 78 2.50 405 0.0006
HB5613 H13/H14 H13 78 2.50 365 0.0025
HB5451 H13 H13 90 2.50 352 0.005
HB5763 H13 H13 78 2.50 330 0.008
HB5703 H13 E12 78 5.33 305 0.056
HC4313 E12/H13 E12 76 5.33 285 0.15
HC3313 E11/E12 E11 75 5.33 245 0.4
HD2293 E10/E11 E10 78 5.33 160 3.8

PerFormフィルター濾材APAC

グレード
標準的なフィルタ クラス EN1822
フィルタクラス@面速度
坪量
(g/m2
面速度
(cm/s)
空気抵抗@5.33cm/s
(Pa)
MPPS透過率@Media Velocity
(%)
HB5893 U15 H14 70 2.50 360 0.0005
HB5593 H14 H13 70 2.50 310 0.004
HB5494 H13 H13 70 2.50 295 0.0075
HB5793 H13 E12 70 5.33 265 0.07
HA8393 E11 E11 70 5.33 210 0.36

PerFormフィルタろ材 欧州中東

グレード
標準的なフィルタ クラス EN1822
フィルタクラス@面速度
坪量
(g/m2
面速度
(cm/s)
空気抵抗@5.33cm/s
(Pa)
MPPS透過率@Media Velocity
(%)
HB5893 U15 H14 70 2.50 360 0.0005
HB5593 H14 H13 70 2.50 310 0.004
HB5494 H13 H13 70 2.50 295 0.0075
HB5793 H13 E12 70 5.33 265 0.07
HC3393 E11 E11 70 5.33 210 0.36
HD2393 E10 E10 70 5.33 132 3.7

高強度ガラスフィルタろ材 欧州中東

グレード
標準的なフィルタ クラス EN1822
フィルタクラス@面速度
坪量
(g/m2
面速度
(cm/s)
空気抵抗@5.33cm/s
(Pa)
MPPS透過率@Media Velocity
(%)
DOP透過率0.3µ@5.3cm/s
(%)
HB13792 U15 H14 81 2.50 400 0.00036
HB12792 H13 H13 81 2.50 320 0.006
HB15826 E12 E12 81 5.33 280 0.059
HD 2433 E11 E11 78 5.33 154 3
HE 1613 E10 E10 81 5.33 135 5
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